二手 BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE #9409375 待售

BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE是一款先进的晶圆处理器，旨在满足半导体和太阳能电池制造业的需求。这种型号是一种完全集成的晶片处理器，带有真空传输臂（VTA）和推动臂（Pusher Arm，PA），使其能够输送多种晶片类型，最大可达200毫米。其真空传输设备允许精确的晶片处理，而其高速致动系统则确保高效运行。PRE-200-CE通过其基于微处理器的控制器提供高精度和重复性，该控制器使用算法来区分薄晶圆和厚晶圆。其高效的拾取和放置晶片传输单元（PWTS）使该机构能够精确对齐和传输不同大小和厚度的晶片。此外,还可以对控制器进行多种程序编程,如阵列和堆迭。机器的功能通过其触摸屏界面实现自动化，从而简化了设置、操作和维护。用户友好的界面还具有集成的配方编辑器和报告机，使用户能够自定义晶圆处理过程。该装置能够传输速度高达500毫米/秒，最高传输臂加速度高达12 Gs。它还具有基于压力传感器的动态插槽识别、集成视频监控和许多其他自动化功能。BROOKS AUTOMATION PRE-200-CE在一个超清洁的环境中运作，并被完全屏蔽以保护晶片免受污染。为确保可靠性，它采用了先进的无轴承驱动工具，并由专门设计的材料制成，以防止腐蚀和磨损。总体而言,PRE-200-CE晶片处理程序是一种功能强大、高效且可靠的工具,能够处理各种半导体和太阳能电池制造过程,并具有高精度和重复性。它提供了卓越的材料兼容性以及强大的防污保护,使其成为最具挑战性的应用程序的理想选择。