二手 BROOKS AUTOMATION Reliance ATR #9019144 待售

BROOKS AUTOMATION Reliance ATR是一个晶圆处理平台,为晶圆的高效和可靠的处理、处理和传输提供集成的自动化解决方桉。顾名思义，它是由BROOKS AUTOMATION设计建造的，该公司几十年来一直是自动化和半导体行业的领导者。Reliance ATR在工艺室之间以及工艺和存储位置之间传输晶片方面提供了卓越的性能。其溷合驱动设备确保晶片的精确、低振动运动，以尽量减少污染和晶片基板损坏的风险。该系统具有自动卡带映射功能，可快速、准确地将卡带从溷合大小的卡带加载到单个和多个位置的处理网格中。该设备还配备了集成的适合购物车,该购物车可容纳多种尺寸的盒式磁带和加工栅格,从而在晶圆处理方面提供最大的灵活性。BROOKS AUTOMATION Reliance ATR还具有集成诊断功能,其编程目的是检测大多数可以快速、准确地停止操作的问题。此外,轻松访问盒式磁带映射和维护历史记录可提供有用的性能跟踪和优化。Reliance ATR具有先进的安全功能,包括门锁、胁迫按钮和安全系统,以防止篡改。这保证了机器不会让操作员接触有害材料或活动部件，也增加了其操作的可靠性。总体而言,BROOKS AUTOMATION Reliance ATR是处理和传输晶片的高效可靠平台,它提供了广泛的功能和安全系统,以优化过程并确保晶片在过程中不会损坏。其溷合驱动器工具、集成诊断以及易于访问的维护历史记录,使其成为任何需要高性能晶圆处理的应用程序的绝佳选择。