二手 BROOKS AUTOMATION Reliance ATR #9019152 待售
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ID: 9019152
Atmospheric wafer transfer robot 8.4"
Single arm
Equipped with Keyence AP-31K pressure sensor module
Does not include:
Power cable
Date cables
Robot controller
Arm extension.
BROOKS AUTOMATION Reliance ATR是一种先进的晶圆处理器技术,为织物和微电子制造商提供可靠、高效、灵活的解决方桉。ATR采用两级机器人臂,能够高效、快速地将单晶片卡带装卸到卡带转移。机器人手臂将装有晶片的支架从盒式磁带快速移动到盒式磁带,确保晶片在生产区域迅速转移。ATR机器人臂还具有精确的速度曲线,以确保晶圆放置的准确性.ATR是为满足各种工程和制造要求而设计的。它配备了先进的可编程控制器,具有健壮直观的用户界面。这使得除了保持高度自动化之外,还可以为各种晶圆处理任务创建自定义例程。该系统最多存储4个盒式磁带位置,非常适合高通量制造。ATR设计具有坚固的底座和可靠的组件,以确保最高级别的性能。它提供了一个可扩展的系统体系结构,允许集成其他外围设备,如视觉系统和激光标记。模块化设计支持单个或多个盒式磁带加载或卸载。该系统能够以高达30 WPM的速度传输晶片。ATR还配备了一系列安全措施,如机械联锁和紧急停止按钮,以确保安全运行。圆滑、紧凑的设计节省了宝贵的空间,而集成的机械臂则允许精确的晶圆处理。所有这些功能的结合使信实ATR成为理想的晶圆处理解决方桉,任何微电子生产线。
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