二手 BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express #293591708 待售

BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express Wafer Handler是一款专用软件和硬件设备,专门设计用于自动将低数量/批量晶圆从一个工艺工具传输到另一个工艺工具。此自动化解决方桉是小型实验室和设施或需要低晶圆吞吐量的应用程序的理想选择。Techware 5 Express Wafer Handlerfeaturessophisated,用户友好型软件,以及由专用3轴控制器控制的可靠伺服和步进电机。这提供了对位置、速度和加速度参数进行直接控制的快速、精确的晶片传输。该系统软件还允许在监测实际/目标位置和速度值的同时轻松设置和配置晶片到晶片的移动。此外,该单元还包括用于自动、安全地从负载端口提升晶片的集成的Pick和Place工具,以及用于机械机械臂可选控制的模拟+/-10V输入。这个晶圆处理程序完全配备了安全功能，包括紧急停止和安全联锁，以保护机器免受干扰。该工具还能够存储多达200个用于受控和可重复制造操作的程序。综合功能安全评估大大提高了资产的安全性和可靠性。例如,在允许运动命令之前,自动机必须处于就绪状态,输入和输出信号必须处于预定的逻辑条件,然后才能发生任何运动。BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express Wafer Handler具有坚固的结构,配有不锈钢煤矿和涂漆的底板,设计时维护和保养效率都很低,而且几乎可以立即投入使用。这款晶片处理器性能卓越,速度达到1m/s,可重复性为+/-0.05mm,是半导体制造过程中批量传输的理想解决方桉。Techware 5 Express Wafer Handler具有直观的用户界面和高级安全功能,是满足自动化需求的正确选择。