二手 BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express #293591710 待售

ID: 293591710
Controller Model no: T5X-S2 REV F.
BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express是由BROOKS AUTOMATION设计开发的晶圆处理器。它将最新的自动化技术与强大的可靠性和BROOKS AUTOMATION产品的支持相结合,旨在提供快速、准确和高效的晶圆处理功能。Techware 5 Express是一款多头晶圆处理程序,可处理多种晶圆尺寸,最大容量可达500毫米晶圆。它旨在提高晶圆吞吐量,减少缺陷,并通过提高吞吐量提高产量。它还能够实现各种自动化功能,如晶片的传输和放置,而无需人工干预。在操作中,BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express具有两个主要组件:作为设备控制中心并容纳三个主伺服的主机和机器人臂。机器人臂独立于主机执行晶圆排序、放置和转移任务。机器人手臂能够进行多种运动,包括伸手和插入晶片,以及从转移槽中伸手去拿晶片。它还能够一次沉积和拾取多个晶片,同时在多个方向上沉积隔离晶片。机器人臂的高灵敏度传感器和反馈系统使其能够精确对齐并以最小的变化将晶片放置在所需的位置。该系统还具有直观的控制软件和诊断工具,可实现高效、准确的操作。该软件包括几种旨在优化晶圆吞吐量的算法,以及一系列安全检查,以确保人员、产品和单位本身的安全。Techware 5 Express能够处理多种尺寸的各种晶片,从2英寸到9英寸,包括SOI、MEMS和TFT。机器还能处理不同类型的晶圆材料,如硅、石英、铝。BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express还具有提供诊断支持和服务的内置维护工具。维护模块监视资产运行状况并在必要时显示警报,使操作员能够快速响应任何问题。也可用于更新型号固件,使设备跟上技术的快速进步。总体而言,Techware 5 Express是一款可靠且用途广泛的晶圆处理程序,可提供快速、准确和高效的晶圆处理功能。它能够处理多种尺寸和类型的晶片,并执行各种自动化操作。此外,它的直观控制软件和内置维护系统确保操作尽可能高效。BROOKS AUTOMATION Techware 5 Express结合了自动化功能和可靠的可靠性,是任何生产环境中理想的晶圆处理程序。
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