二手 BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A #293682179 待售

ID: 293682179
优质的: 2013
Robot 2013 vintage.
BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A是一个晶圆处理器,旨在使半导体、微电子及相关产业的晶圆处理自动化。它为各种过程提供了高效的解决方桉,包括切片、切丁、研磨和去毛刺。该单元非常适合需要在有限的时间内处理大量晶片的应用。VAC-407-2A具有直观、用户友好的控制面板,可轻松操作和调整所有设置的参数。故障记录设备捕获并记录发生的所有错误。这样可确保最高级别的流程准确性和生产率。设备上的精密机器人系统旨在降低错位风险,确保可重复、精确的定位。该设备能够处理各种晶圆尺寸,还具有灵活的弹匣选项,允许用户选择其应用所需的晶圆弹匣类型。可以使用最大吞吐量为42个晶圆、最大基材重量为12.5kg的负载端口。自动JEP磨头能够对边缘进行除垢和抛光。此磁头还可以在手动模式下使用,以实现更精确的应用。综合工艺监测和认证单元在处理大量晶片时确保准确的结果。这对于晶圆跟踪和可追踪性的目的特别有益。包括远程诊断服务和刀具寿命监测机在内的其他功能允许进一步的安全性和过程优化。这种用户友好可靠的晶圆处理程序可以有效地自动化流程,并为各种应用程序提供一致的结果。可靠、安全、精确的工具确保了晶圆的平稳、经济高效的运行。
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