二手 BROOKS AUTOMATION VAC-409 #293641123 待售

BROOKS AUTOMATION VAC-409是一种晶圆处理程序,旨在快速高效地运输、操作和交付基于半导体的材料集。这台多功能机器可用于多种应用，从简单的机器人材料处理到复杂的真空辅助重工艺步骤。该机采用真空端口、高精度伺服电机和接口组件的独特组合，提供可靠和可重复的性能。它的模块化设计允许在各种各样的过程中操作，例如模具去除、分类、计量和其他高级材料处理。VAC-409能够处理有效载荷高达250克的1"、2"、4"、6"和8"晶片,无论方向如何。它还具有可拆卸的真空电源和可用的液温控制与EMC材料集.机器人X轴总行程范围为250毫米，Y轴总行程范围为126毫米，使其能够在所有方向拾取、携带和沉积材料集。它的长寿命真空泵提供静态和动态真空控制与驱动扭矩的选择，使力控制和系统的灵活性。优化了BROOKS AUTOMATION VAC-409的设计,减少了磨损,提高了精度.该机具有低惯性伺服电机，采用非接触式线性编码器，为晶片提供超精确的运动。整个系统都配备了人性化的工具，便于维护。VAC-409是半导体材料加工应用的理想选择。它为各种材料集和工艺提供了出色的支持,提供了可靠的性能和出色的可重复性。无论是用于简单的机器人材料处理,还是用于复杂的真空辅助工艺步骤,BROOKS AUTOMATION VAC-409都是一个可靠可靠的解决方桉。