二手 BROOKS AUTOMATION VAC407 #9211501 待售

BROOKS AUTOMATION VAC407是设计用于半导体制造过程的晶圆处理器。VAC407是一种自动化设备，用于在加工工具之间交换晶片，例如蚀刻器和熔炉，以及通过机械臂交换晶片盒。BROOKS AUTOMATION VAC407可以处理九和十二英寸晶圆，以及八、十二和十六英寸晶圆，厚度可达200微米。系统通过运行在触摸屏面板上的用户友好图形用户界面（GUI）操作。这使得运算符很容易修改工艺配方的参数。可以调整的参数包括晶圆的位置和方向、晶圆速度和加速度、不同工具之间的行进时间以及使用的真空和压力水平。VAC407配备了两个用于交换晶片的独立机械臂，允许处理工具和晶片盒之间同时进行转移。机组配备真空拾音器，将晶片保持在正确的方向进行交换。此外，机器有独特的映射算法，保证准确的传输。BROOKS AUTOMATION VAC407配备了功能强大的Cognex Vision Tool，用于定位和验证晶圆盒和工具。这样可以确保机器人手臂始终正确识别晶片并与正确的晶片盒和正确的处理工具进行交换。VAC407还配备了用于防止机器人碰撞、环境污染和异常过程条件的综合安全资产。该型号包括强大的气动和软件安全功能，如自动工具关闭和紧急停止按钮。设备还具有自动诊断功能,可自动检查任何异常情况并在触摸屏上进行指示,确保系统能够安全运行。BROOKS AUTOMATION VAC407是一个可靠、用户友好的晶片处理程序,可确保在处理过程中进行准确的传输并防止晶片污染。该单元还配备了强大的安全功能和自我诊断功能，使其高度可靠，降低了故障的可能性。