二手 BROOKS AUTOMATION VacuTran 5 #9013390 待售
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BROOKS AUTOMATION VacuTran 5是一款先进的自动化晶圆处理器,用于半导体制造。VacuTran 5包含多个特定于流程的选项,这些选项可根据客户需求定制。构建在灵活平台上的BROOKS AUTOMATION VacuTran 5适用于多种半导体应用,包括晶圆传输、晶圆分选、原位晶圆处理、晶圆回收等。VacuTran 5由两个主要组成部分组成:一个装有传输机制的基本单元和一个装有软件和用户界面的控制器模块。基座单元由坚固的框架、机动运输导轨和容纳晶圆运输车的滑动抽屉组成。运输车由铁轨上的轮子引导,由电动机推拉。电动传动系统设计为无论晶片大小和形状如何,都能提供优化的性能。控制器模块包含软件引擎和用户界面。该软件旨在方便晶片的运输和操作。它包括一个自动化的设置过程,包括分析晶片的大小和形状,选择最佳的传输速度以及晶片跨度的模式。自动晶片对齐器确保晶片在运输前的准确定位,消除任何潜在的错位。此外,BROOKS AUTOMATION VacuTran 5独特的晶片成形组件也可以用来重新成形和解调晶片。VacuTran 5提供多种安全功能,包括用于调节温度和湿度的内置环境控制系统,以及在人员移动或操作过度时检测和警报人员的安全传感器。BROOKS AUTOMATION VacuTran 5也是唯一具有全自动晶片装卸功能的晶片处理器。系统安全准确地分配晶片,能够同时处理大小晶片。总体而言,VacuTran 5提供了一个健壮可靠的平台,方便对半导体晶片进行高效准确的处理,使其成为工业应用的理想选择。BROOKS AUTOMATION VacuTran 5具有自动运输和用户友好软件等功能,可为任何半导体生产线提供高性能、多功能性和安全性。
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