二手 BROOKS AUTOMATION VTR-5 #293666638 待售

BROOKS AUTOMATION VTR-5 Wafer Handler是一种用于在晶圆处理设备内移动和操纵晶圆的设备。它能够进行单面或双面晶片处理操作,节奏高达每分钟800次移动。VTR-5安全地在盒式磁带、反应器、掩模对准器、烤箱和离子植入器之间运输晶片。它有一个可选的晶圆输入/输出穿梭器，用于以更高的速度输送晶圆。BROOKS AUTOMATION VTR-5具有模块化的桥架组件,支持单面和双面晶圆装卸操作。它易于集成的晶圆穿梭设计，允许机器人装卸和快速晶圆传输。控制电子设备具有按钮用户界面,并显示LED/LCD,指示给定组件何时处于传输模式或错误模式。VTR-5有两级设计，以确保晶圆保护和精确的晶圆操作。第一阶段是用一块无毛绒的布包裹在晶圆荚周围，以防止颗粒污染。第二阶段涉及使用敏感的晶片定位设备，该设备允许夹紧、定位和旋转晶片。这种敏感的操作使晶片相对于对齐寄存器标记的放置更加准确。晶片处理机构由三连杆型材组成，可进行精确的晶片处理。此三连杆型材由步进电机驱动，可处理50至300毫米不等的晶圆尺寸。BROOKS AUTOMATION VTR-5还具有较大的晶片装卸区，有助于减少破损和污染。晶圆处理程序由模块化自动协议载波（MAPC）程序控制。该程序存储用户定义的配方，并提供易于使用的图形用户界面，以快速编程和控制晶圆处理操作。通过RS-485协议启用与各种设备的通信。该系统由Allen-Bradley PLC供电，安全插入三相电源。VTR-5 Wafer Handler是一种高度可靠和灵活的工具,用于在广泛的晶圆处理应用中处理晶圆。自动化操作有助于确保晶圆运动的精确度、准确性和控制,同时有助于减少颗粒污染和物理损坏的可能性。凭借其广泛的特性和功能，这款晶圆处理程序是实验室、半导体、集成电路制造公司等组织中晶圆处理任务的绝佳选择。