二手 BROOKS FAB Express #127117 待售
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ID: 127117
EFEM with wafer handlers, can handle 8" and 12" simultaneously, (2) load ports
Wafer Presenter/Handling Robot with 2 vacuum-holding wafer arms
Robot Track (Y axis)
Series 8 Robot Controller
Robot Teach Pendant BROOKS2-PTN30R2-1-ES
(Qty 2) BOLTS Load Port Modules
BOLTS Load Port Module
InLigner Wafer Aligner
(Qty 2) Devicenet Interfaces
CleanFlow Filter Fan Unit 3000FFU
Keyence Light Curtain SL-C16H
Kramer Tools Firewire Repeater/HUB
Arista Industrial Touchscreen LCD Monitor
Keytronic keyboard with trackball.
BROOKS FAB Express晶片处理程序为高性能晶片处理需求提供了全面的解决方桉。它配备了先进的机器人自动化，设计用于安全、快速地运输2"和4"晶片，每个单元最多40个盒式磁带，四个容器中最多80个晶片。FAB Express具有独特的设计和高速晶圆处理功能,是处理大量产品的理想解决方桉,效率最高,精度最高。该设备具有广泛的高级功能,包括： 具有快速晶片臂加速和减速功能的多轴机械臂、具有自动化能力的直接驱动电机和驱动器、用于精确对准和分类的先进彩色视觉系统、无灰尘晶片传输、具有用户友好配置和监控的直观控制单元以及周期时间短的低调设计。该机还包括多个接入点，便于装卸，而升降机工具最多可管理8英寸（200毫米）晶圆。此外，BROOKS FAB Express用户友好，操作安全。用户友好的控制界面可以方便地编程和配置晶圆处理功能，而视觉资产提供视觉反馈。为确保最大安全,该模型采用主动和被动安全措施,包括紧急关闭能力和锁定脚轮。总体而言,FAB Express为大量晶圆处理提供了理想的解决方桉。其先进的机器人自动化技术使其速度和准确性令人难以置信,而其精密的控制设备和直观的设计使其用户友好且操作安全。该系统允许多个接入点，便于装卸、无尘晶圆传输以及具有自动化功能的直接驱动电机和驱动器。BROOKS FAB Express的特点和可靠性相结合,是满足高性能晶圆处理需求的理想解决方桉。
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