二手 BROOKS Magnatran 7 #293604921 待售

BROOKS Magnatran 7是一种自动化晶片处理设备，旨在提供高吞吐量、最大效率和可靠的单栈和双栈晶片配置处理。它的自动化和灵活性使其能够用于从研发到大批量生产的环境中。该系统有一个晶圆处理区域，各种宽度的晶圆在C型工厂配置中处理。晶片在顶部或底部支撑物中加工,直径范围从150毫米到300毫米不等。晶片使用两个夹具和轧辊系统牢固地固定在适当的位置，同时在垂直轨道上上下运输。晶片是手动或通过自动加载程序/卸载程序放置和卸下的。在操作时，该单元执行旋转涂层、灰光、边缘珠密封、烘烤和干燥等多个工艺步骤。Magnatran 7由具有高速和精确位置精度的专有伺服电机驱动。这使机器能够快速加速和减速晶片轨道，确保晶片在任何时候都以正确的时间和速度移动。而且，机器有能力在需要停止时精确检测和调整晶片轨道的位置，使其适合高速运行。此外,BROOKS BROOKS Magnatran 7还提供了许多高级控制功能和过程,包括对工具事件和参数设置的监控,以确保可重现的过程性能和产量。它还具有错误恢复消息功能,在材料丢失之前警告晶圆处理错误。该机器还配备了全面的故障检测资产和一系列安全功能，有助于减少发生物理事故的机会。总体而言,Magnatran 7提供可靠、准确和高吞吐量的操作,并具有易于配置的微处理环境。它非常适合广泛的晶圆加工应用，从研发到大批量生产。