二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7090-04 #9111114 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 002-7090-04是半导体行业的全自动晶圆处理程序解决方桉。它利用具有自动拾取和放置技术的单列处理器来实现高速处理和测试大量晶圆。处理程序配备了各种头部和附件，旨在优化晶圆处理操作，并提供最大的操作员安全。BROOKS 002-7090-04可处理直径达8 ″ （200毫米）的晶圆。它还支持手动/动态拾取和放置操作,包括两个机械手,一个用于自动晶片装卸,另一个用于手动晶片处理。集成的伺服控制拨片机构可以将晶片从一个机器人移动到另一个机器人,并从处理床移动到恢复盘,从而确保性能一致和最大精度。晶圆处理程序配备了集成的可编程逻辑控制器（PLC），用于可编程自动化控制，内置通信功能用于远程监控。直观的用户界面具有4.3 ″彩色触摸屏显示屏,可简化操作。该单元还包括一个基于Web的用户界面和报告功能，允许用户在线跟踪其晶片并监控其性能。除了自动化处理能力外，PRI AUTOMATION 002-7090-04还包括机器人晶圆对准系统。这种先进的对准系统旨在在放置到加工床之前自动使晶片居中和定向。激光系统可即时测量晶片尺寸，并自动调整其位置以进行优化处理。自动晶圆处理程序专为大批量生产而设计，提供可靠准确的晶圆处理性能。该单元还包括一个内部安全开关，可用于确保安全高效的操作。此外，该单元还配备了用于快速晶圆交换和处理的臂末工具。所有这些功能都确保了安全、一致和高效的生产环境。