二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7090-05 #9111115 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 002-7090-05是一个先进的晶圆处理器，在晶圆处理上是为了卓越的精度和速度而设计的。它是一个高通量晶圆处理程序，优化了许多不同材料的总处理时间。此处理程序基于Reactive Single Wafer Loadlock,它提供了更大的灵活性和可重复性。晶片卡带到卡带的传输提供了无与伦比的吞吐量速率。较大的晶圆尺寸功能允许更快的吞吐量时间,以及处理不同晶圆尺寸的能力。采用集成的机器视觉系统，可以快速、准确地实现晶片对准各种尺寸的晶片。PMOS晶圆对准器特性允许更精确的晶圆取向，设计既健壮又可靠。此外,BROOKS 002-7090-05还提供了一种传送带式机器人,无需手动卸下、重新定位晶片并将其加载到处理程序上,从而提高了整个过程的效率。集成的臂端模具允许精确的晶圆处理,而不会影响精度。这对于更细腻的晶片尤其重要。PRI AUTOMATION 002-7090-05还包括多个接缝模块、工艺温度同步、运动控制轴选择器等几个高级控制功能。这些功能允许更快、更可靠的晶圆处理。高级数据记录功能还确保准确记录所有进程数据并轻松检索。002-7090-05是一款可靠的晶圆处理程序,提供卓越的性能和准确性。其高度先进的系统设计和集成的特性，使得许多不同类型的晶片能够快速一致的处理。由于维护要求低，通量能力高，是许多不同晶圆处理应用的理想选择。