二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7391-52 #9254399 待售

ID: 9254399
Robot wafer prealigner.
BROOKS/PRIA AUTOMATION 002-7391-52是一种全自动晶片处理解决方桉,旨在提供晶片制造过程中的准确性和可靠性。它专为多堆栈晶片处理、多用途晶片加载、晶片级测试等广泛应用而设计。它是由可移动臂组件、晶圆转运站、晶圆定向装置和电子运动控制器组成的机器人设备。可移动臂组件负责将晶片从一个工作站运输到另一个工作站,并提供晶片方向和运动的精确控制。这是通过其马达、接头和位置传感器的组合来完成的。晶圆转运站用于将晶圆传输到工艺阶段,而晶圆定向设备则用于在晶圆进入站前对其进行正确对齐。这些组件的组合协同工作,提供准确可靠的晶圆运动。电子运动控制器是系统的核心,因为它为可移动臂组件提供了必要的指令,使晶片能够精确移动。此控制器由HumanMachine Interface (HMI)或Programmable Logic Controller (PLC)等几个输入设备驱动。这些控制器可以连接到设备网络,允许对机器进行远程监控。此外,BROOKS 002-7391-52工具可以配置各种传感器和工艺软件,为应用程序提供定制解决方桉。例如,它可以用来跟踪晶片位置,测量压力,检测污染,并提供晶片的精确定位。这样可确保在多个生产运行中获得一致的结果,并有助于减少流程变化。总体而言,PRI AUTOMATION 002-7391-52资产是一种通用且高度可靠的晶圆处理解决方桉,可提高吞吐量和准确性,减少停机时间和成本。它易于集成到现有系统中,并可以提供实时数据和分析,以帮助简化整个过程。这使得它成为大容量基于晶圆的应用的理想解决方桉。
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