二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 003-9010-13 #9111117 待售

BROOKS / PRI AUTOMATION 003-9010-13
ID: 9111117
Robots P/N: 9907-10431 0005-10154 9907-10432.
BROOKS/PRIA AUTOMATION 003-9010-13是工业半导体工业中使用的机械化晶圆处理器。该晶片处理程序设计用于以最高的精度和可靠性传输和移动晶片。它可以处理直径达200毫米的基板。自动化BROOKS 003-9010-13由两轴伺服驱动设备和一个固定的、重力馈送的晶片滑道组成。双轴伺服驱动系统由闭环数字伺服单元驱动,用于精确快速的定位控制。伺服电动机具有正弦或梯形运动轮廓,设计用于在不影响精度的情况下以最高速度处理晶片。驱动机器还配备了中断工具和可编程电流限制,以确保精细晶片的安全处理。静态晶片槽设计成能够向处理程序准确可靠地输送多达四个晶片。它为每个晶片提供单独的加载/卸载端口,并允许在批量加载和连续进纸之间进行切换。另外,晶片滑道的设计是为了减少晶片的偏转,并设计为尽量减少振动和噪音。PRI AUTOMATION 003-9010-13具有多项有助于确保其可靠性和准确性的附加功能,如集成的ESD保护资产、密封的光学编码器以及板载、数字数据采集和控制模型。所有这些功能都确保晶片能够以高精度和可靠性处理。自动化003-9010-13旨在满足工业半导体行业的需求。此晶片处理程序的特点使其成为那些需要高级晶片处理解决方桉且能够满足苛刻精度要求的人的理想选择。BROOKS/PRI AUTOMATION 003-9010-13具有先进的功能和易用性,对于那些需要高质量、可靠的晶圆处理程序的用户来说,它是一个绝佳的选择。
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