二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 017-0277-01 #293653288 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 017-0277-01是用于生产自动化应用的高度可靠、高效且功能丰富的晶圆处理程序。其特性和能力使其适合多种工业用途，从实验室研究到大批量制造环境。该设备以独特的轴向旋转或"旋转"功能传输和清洁晶片,并轻松集成到现有产品线中。该处理器采用用户友好的触摸屏控制和坚固耐用的铝制玻璃纤维外壳。其符合人体工程学的车把设计和直观、易于使用的界面使其易于操纵和操作。使用可调节的对准框架,处理程序能够处理尺寸不超过3.5英寸（8.9厘米）的晶片。其特点是采用顶装式双串输送机系统进行试样的手动装卸。为进一步简化操作,处理程序会自动设置一个自清洁循环,以清洁腔室内部,防止污染和损坏晶片。此外,该设备允许手动清洁以及自动清洁循环,可根据环境要求和使用的基板类型进行配置。该设备还包括一个连接至上游和下游机器的端口，使其与各种产品线兼容，并且在工作温度和湿度方面用途广泛。该端口还可用于访问内置内存,从而方便传输进程数据以及存储的程序设置。为了确保过程的可重复性和准确性,BROOKS晶圆处理程序采用了各种诊断系统.这包括一个高精度的热电偶编码器、可配置的报警器、一个精确校准的撞击计数器和一个用于识别未对准的光学监控系统。这种设备对超出范围的流程参数提供听觉和视觉警报,以便及时进行调整和更正。总体而言,PRI AUTOMATION/PRI晶圆处理程序是任何高级自动化应用程序的基本组件,它以可靠高效的软件包提供可靠且可重复的性能。