二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 105151 #9267821 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION 105151晶片处理器是一种顶级设备设备，用于在实验室和其他洁净室环境中处理、处理和运输半导体晶片。该系统在从薄膜沉积到光刻到计量的一系列半导体制造应用中提供精确的晶圆处理操作，并提供光密实验室外壳以保护晶圆不受污染。晶片处理机由一个主单元、自动装载机端口、晶片输送机、真空机器人、机械手臂阵列、90°角升力和晶片托盘以及空气执行器和控制系统组成。主单元容纳机器人和其他部件，以创建一个可检索的密封传递室，并保持一致的温度和湿度环境。自动加载端口有效、准确地管理晶圆输入和卸载过程。它是一个完全机械的单元，旨在最大限度地减少粒子产生和污染。输送机将晶片、盒式磁带和托盘通过腔室进行装卸,从而实现盒式磁带和/或托盘之间晶片的无缝传输和处理。在晶圆传输过程中,机械手的手臂在机器人模块内遵循编程的路由。武器的特点是内置防护装置，以防止意外接触晶片，安全传感器在发出警报时关闭操作元件。90°角升力由驱动器、升力和旋转器组件组成,它们将晶片从托盘电平机械传输到机器人电平。晶片托盘是一种智能设备,它可以将盒式磁带、托盘和/或晶片从机器人中取出,并将其传输到托盘级别。空气执行器和控制系统提供自动化序列控制，并为每个臂坐标运动提供单个执行器系统，以尽可能高的精度到达预定位置。BROOKS 105151晶片处理程序的设计旨在确保晶片运输的高精度，而不影响实验室的清洁度。其先进的自动化机器提供可靠的晶片处理功能，而内部腔室则提供高度清洁和受控的环境，有助于保护晶片免受污染并保持一致的工作温度。