二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 141001-0031 JET #9201728 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 141001-0031 JET晶片处理程序是一种高度专业化、高精度的机器人设备,在半导体工业中广泛用于处理晶片。它能够在工艺室之间传输晶片，以及执行诸如对齐和堆迭之类的复杂操作。JET系统是安装在架空导轨单元上的机械臂。手臂可以被精确控制和编程为三个方向（X、Y和Z轴）移动，提供最多三个自由度。这样就可以非常精确地定位终端效应器，用于诸如拾取晶片以及将晶片从和转移到加工室等任务。末端效应器本身也可以被编程为执行晶圆对齐、堆迭等复杂操作。JET机配备了几种有助于确保准确性和可靠性的先进技术。例如,该臂采用湿摩擦控制和多轴跟踪,它们协同工作以确保端部效应器能够精确移动,并以线性方式跟踪加工室。此外,该工具还具有内置校准资产,有助于确保准确性和可重复性。JET模型还具有多种安全功能,可帮助保护终端效应器和所处理的晶片。例如，设备配备了晶圆直通避险系统，有助于检测和避免错位和碰撞。此外,该设备还配备了晶片表面损坏检测机,可帮助检测由于处理不当可能造成的划痕、碎屑和其他表面损坏。总体而言，BROOKS 141001-0031 JET是一种先进的机器人工具，在半导体行业提供了许多优势。它配备了多种先进的技术和安全功能,可帮助确保在过程周期中处理晶片时的准确性、可重复性和可靠性。