二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 15500-02 #293585883 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 15500-02晶圆处理程序是一种先进的机器人设备，用于半导体、太阳能和MEMS处理环境中晶圆的精密材料处理。它的设计目的是提供一种精确、可靠和可重复的方式，在给定的过程中传输各种基材尺寸和样式。该系统可以多种方式使用,以适应不同的流程要求和配置。BROOKS 15500-02是一个独立的、完全集成的单元，集成了硬件、软件和机器人控制系统，为在给定的过程中操纵晶圆提供了一个单一的平台。它采用模块化设计,可配置为满足单个客户的特定要求和流程配置。标准机器包括一个强大、集成的控制器和驱动器、强大的多轴机器人平台以及一整套传感器、成像系统和视觉系统。晶圆处理程序具有先进的视觉引导机器人手臂，旨在消除奇异误差和减少粒子计数。它使用精密的视觉引导机器人精确定位晶片，确保高可重复性和精确度。手臂能够在不同的相邻点之间高速移动。该工具还能够有效地处理高达6英寸直径的晶圆。资产的集成数据采集和软件控制是根据流程需要量身定制的。PRI AUTOMATION 15500-02晶圆处理程序包括用于设备控制和编程的各种软件库。其基于简单网络管理协议的网络管理提供了全面的远程访问。该软件可以自动进行晶圆传输、物料处理和其他特定于过程的操作。机器人技术和自动化技术正日益成为半导体加工的关键组成部分。BROOKS/PRI 15500-02晶片处理程序是一种先进且功能强大的型号,专为满足半导体行业的需要而设计,为晶片材料处理提供精确、可靠且可重复的控制。它的模块化设计确保它足够灵活以满足不同的工艺要求和配置。其用于自动晶圆传输和材料处理的集成视觉引导机器人技术和软件控制提供了最大的效率和准确性。因此,BROOKS/PRI AUTOMATION 15500-02晶圆处理程序是半导体生产环境中的一个重要工具。