二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 4500-5158-01 #9171655 待售

BROOKS / PRI AUTOMATION 4500-5158-01
ID: 9171655
Loadport Rev B.
BROOKS/PRIA AUTOMATION 4500-5158-01是一个晶圆处理器,用来自动半导体製造设施的载荷过程。该设备旨在快速、准确地将单个晶片从一个工作站移动到另一个工作站,以创建更快的制造过程。BROOKS 4500-5158-01由一个由钢构成的重型框架组成,并有五个加热区可处理高达250°C(482 °F)的温度。它包含一个高级光学系统,用于扫描晶圆应用和测量大小,以确认合适的拟合。该扫描系统可确保晶片的精确定位和移动。该装置还配备了一个机械臂,能够精确控制晶片在位于制造设施不同站的若干烤箱中的放置。这种机械臂具有先进的伺服马达,可以移动到精确的角度在一秒钟内由于高功率输出。晶圆处理口配有专用真空喷嘴,增强晶圆处理能力。真空喷嘴在晶片对准和捕获过程中提供了额外的精确度层,允许精确控制在处理过程中施加的真空压力。最后,PRI AUTOMATION 4500-5158-01包括一系列安全机制,以防止在此过程中对晶片造成任何损坏。例如,当晶片处理程序检测到晶片正在进入烤箱或即将进入敏感区域时,进程将立即中止。总体而言,4500-5158-01晶圆处理程序是一种先进、高效的机械,旨在简化任何半导体制造工厂的生产过程。通过确保晶片的精确处理,这种装置能够大大减少安装时间,最大限度地延长生产时间。
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