二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850C #9144548 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850C是一种自动化晶片处理程序,旨在在各种半导体制造过程中快速移动和操作晶片。机器人设备进行精确的晶圆处理，以保持工艺性能和产生高设备产量。该系统由一个工作站运行，能够控制多达4个晶圆机器人。BROOKS 5850C的设计可靠,可优化各种半导体制造环境中的生产率。机器人提供了一个超精确的运动控制单元，在所有轴上可重复的精度在0.001mm左右。这样可以对晶片进行微小的修改,并实现可靠的设备性能。该机配有视觉引导检测机，利用预编程参数实现晶圆的快速分选。机器人能够自动测量晶圆的半径和直径，甚至对晶圆边缘进行自动检查。保护性晶片室设有过滤器和真空/氮交换能力，使机器能够完成晶片处理操作而不受污染。该工具还具有具有多种功能的直观用户界面,例如集成过程控制的配方编程。机器人使用先进的制造技术可以提高速度、精度和可靠性。此外,模拟和建模可用于解决过程问题,而自动校准功能可确保机器人的性能随着时间的推移得到维护。简而言之，PRI AUTOMATION 5850C晶圆处理器是一种智能、高效的机器人，旨在快速、准确地完成半导体制造中的各种晶圆加工任务。通过将先进的过程控制与可靠的运动控制资产相结合，机器人能够及时产生较高的设备产量。