二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263576 待售

BROOKS型号BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handler是一种精密自动化设备,设计用于在半导体制造环境中及周围安全、准确地处理和移动晶片。该处理程序可可靠地将晶片从一个装卸站运输到另一个装卸站,在洁净室或晶片制造环境中安全使用。模型BROOKS 5850E由晶圆处理子系统、机器人子系统和外围子系统三个主要组成部分组成。晶圆处理子系统是晶圆机器人与其相关外围设备之间的接口，负责控制晶圆在整个制造过程中的处理。其设计目的是使用弹簧加载的擒纵机构和清洁工具来拾取和沉积晶片，从而对晶片进行安全、安全的处理。模型PRI AUTOMATION 5850E的机器人子系统执行在其传输系统中移动晶片的任务。它由一个高速、两轴机器人组成，处理能力为十二个150毫米（6英寸）晶圆和四个200毫米（8英寸）晶圆。该机器人装有高速直流伺服电动机，可实现精确一致的运动，能够在0.3秒内达到780mm/秒的速度，同时从0加速到全速。机器人采用+-0.04mm的位置精度。模型5850E的外围设备子系统包括晶片制造所需的所有组件,如晶片装载机和卸载机、伺服驱动器、晶片探针、晶片传输托盘以及各种其他夹具和附件。此子系统旨在确保所有相关的外围设备无缝工作,并且不会有其他组件成为污染或运输错误的来源。最后,PRI AUTOMATION模型BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E Wafer Handler是一个先进的自动化单元,旨在在半导体制造工厂内和周围安全、准确地处理和移动晶片。它允许以+-0.04mm的位置精度进行精确一致的运动，并具有以780mm/sec的速度传输多达16个晶圆的能力。该机器的设计目的是确保所有相关的外围设备都是无源的，并且运行时不会受到污染或错误。