二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263589 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E是半导体生产设施的通用可靠晶圆处理器。它的全自动操作使它能够在处理过程中快速准确地移动晶片。BROOKS 5850E由两个独立的256步步进/伺服电机轴系统提供动力。每个轴设备都能精确定位晶片，步进分辨率低至1.3微米。处理程序最多可配备三个晶片托盘，使其一次最多可容纳四十八个200 mm或六十六个150 mm晶片。它还可以容纳多达四个500毫米晶圆。PRI AUTOMATION 5850E还标配两个负载锁,每个负载锁都有自己的机械、气动和真空系统。这使处理程序能够快速准确地将晶片加载/卸载到晶片托盘中,减少因大容量处理而导致的停机时间,并减少颗粒污染。5850E还配备了多种安全功能，如可编程紧急停止装置、可选光束探测器和传感器阵列。这些功能提供了额外的保护级别,并确保所有操作都能顺利、安全地运行。BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E的控制机器由一个可编程逻辑控制器（PLC）组成，它使用户能够轻松创建可重复、可编程的进程。这允许在短时间内定制处理大量晶片。用户还可以通过计算机的图形用户界面（GUI）访问参数数据,并访问用于运行进程和创建新进程的预定义配方。BROOKS 5850E是用于半导体生产设施的高效、准确、可靠的晶圆处理器。其可调节的托盘工具、负载锁、安全功能和直观的控制资产使其成为大容量处理的理想选择。