二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263590 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E是一种通用的晶片处理程序,专为及时可靠地处理晶片组件而设计。此自动化工具可在一个周期内精确处理多达12个晶片,包括加载、传输和卸载。BROOKS 5850E还允许使用多达6个用于研磨和抛光的主轴进行精确的研磨、抛光和去毛刺操作。专用的四轴晶片操作系统允许晶片的精确定位，从而能够在容器之间进行快速和准确的传输。先进的运输系列机器人配备了陶瓷刷子和吸盘，用于精确的晶圆处理。其气动夹具为自动化装卸过程提供高效的力控制。PRI AUTOMATION 5850E具有直观的软件平台,允许客户配置自动化配方、最大限度地提高吞吐量和流程可重复性,并启动手动操作。它支持使用实时配方管理（RRM）功能,包括配方修订、调试和模拟。该系统配备了稳健的安全措施，确保操作员安全和一流性能。其坚固的安全特性包括腔室互锁、单循环反向互锁、制动能力以及每个晶片托盘的速度控制和限速开关。5850E是一个令人印象深刻和全面的晶片处理系统，使客户能够自信地处理晶片的准确性和一致性。该自动化平台非常适合大批量生产周期,为高效可靠的晶圆处理提供了卓越的准确性和可重复性。