二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E #9263592 待售

BROOKS / PRI AUTOMATION 5850E
ID: 9263592
Mass flow controller Type: D VCR (M), 1/4" O2 10 SCCM.
BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E是一款先进的晶圆处理器,用于微电子学、半导体和太阳能电池制造工艺。它旨在在广泛的制造环境中提供高精度、低粒子生成和可靠的操作。BROOKS 5850E具有集成的微处理器控制操作,可实现复杂的过程控制和易于维护。该系统能够处理各种晶圆,如平面、矩形和口袋。它还具有先进的功能和安全功能,如实时状态检测、进程停止源控制和紧急真空关闭。PRI AUTOMATION 5850E具有自动晶片加载和交付、1-360°晶片旋转、晶片分选以及满足大批量生产要求的刻录功能。它还提供了广泛的处理功能,并且能够为某些应用程序处理双面晶片。5850E包括一些组件,以确保正常运行。真空室由不锈钢制成,具有低颗粒产生的气体净化能力。采用电气动系统产生真空和压力,用于晶圆处理。机器人手臂配备了速度、扭矩、加速度控制,用于精确的晶圆输送和放置。BROOKS/PRI AUTOMATION 5850E旨在提高制造过程的性能和减少停机时间。它与众多的过程控制系统兼容,允许轻松集成到当前的生产系统中。其直观的用户界面还允许方便的设置和操作。它还具有高级诊断功能,可帮助识别和解决制造过程中出现的问题。BROOKS 5850E是先进晶圆处理程序和较小的生产运行的理想解决方桉。它可靠,在一系列应用程序中提供卓越的性能。它采用最新技术设计,以确保在微电子学、半导体和太阳能电池制造过程中取得成功。
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