二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5858-1J1A1A5 #9141153 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 5858-1J1A1A5 Wafer Handler是一种轻巧、用途广泛的机器,专为半导体处理应用而设计。它能够处理直径不超过200毫米或8英寸的晶片。处理程序利用内部晶圆传输模块将晶圆从加载器移动到用户的晶圆处理设备。处理程序为晶圆的精确处理提供拾取、放置和对齐功能。自动晶片处理程序采用模块化设计,由两个独立的组件组成：磁头和托盘。头部设计为可容纳直径不超过8英寸的基板。它配有四个独立的端效应器，它们对齐晶片以进行适当的处理。末端效应器将晶片对齐,使其牢固地安装在支架中,并防止其在运输过程中弯曲。头部安装在提供平滑、精确运动控制的线性伺服托盘上。两个伺服独立控制上下托盘，允许磁头在垂直或水平方向上移动，以最佳对准晶圆的位置。纸盒或底座是处理程序的第二个组件。它配备了在运输过程中固定晶片的真空设备。托盘还有一个清洁系统，旨在最大限度地减少晶圆的污染，并在加载前提供关键的表面准备。晶片取自托盘，送入用户晶片处理设备，完成传输。BROOKS 5858-1J1A1A5 Wafer Handler是一个用户友好的单元，设计用于半导体加工应用的可靠操作。机器的模块化设计、对齐能力和自动加载过程为晶圆传输提供了最大的灵活性。该工具可与多种晶圆处理设备集成，成为多种应用场景的理想选择。