二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5864E #9007054 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 5864E是业界领先的晶圆处理器,用于前端半导体制造过程。它具有耐用和可靠的设计,特别适合极端可靠性和可重复性最重要的操作。BROOKS 5864E晶片处理程序具有最先进的设计,能够更快、更准确地定位晶片在工艺模块中的位置,从而提高产量和系统稳定性。它紧凑的模块化设计使它能够适应各种空间，并且需要最低限度的维护，确保平稳高效的操作。晶圆处理器配有非接触晶圆导引系统，可在高达6,800晶圆/小时的时间下进行精确的晶圆处理。它还配备了一个能够对晶片进行索引的集成机器人臂和一个热环载卸站，确保了可靠和可重复的操作。此外，其高效的晶圆传输系统使其能够以最小的振动和精确的定位移动晶圆。PRI AUTOMATION 5864E晶圆处理程序还为直径从8英寸到12英寸的各种晶圆尺寸提供了高效传输。其机载情报确保加强了对过程的监测和监督。它与各种I/O源完全集成,可实现卓越的工艺控制和产量优化。晶圆处理程序通过各组织的ESD Precautions Class 1和Global Standards of IEC 61241-2-2认证。这确保了其运行过程中的安全。此外,它还符合RoHS指令和CE Mark认证,使其具有高度的安全性、环境友好性和法规遵从性。综上所述,5864E是一个高级晶圆处理程序,旨在为半导体制造过程提供精确的处理、改进的吞吐量和产量优化功能。它具有最先进的设计，保证可靠运行，符合行业法律法规。它具有众多先进的功能和易于维护的特点,是任何前端半导体生产的理想解决方桉。