二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5877 #9353204 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 5877是一种自动化晶圆处理程序,旨在最大限度地提高晶圆处理应用中的吞吐量和性能。它具有独特的单平面体系结构，可以同时传输多达21个晶圆。设备是完全自动化的，具有自动化处理、加载和卸载的多个阶段，以确保晶圆的连续吞吐量。自动晶圆处理器配备了包括机械臂控制、可编程直线电机和功能齐全的可编程逻辑控制（PLC）系统在内的许多功能。机械臂控制允许通过手动或自动调整来精确移动晶片。可编程线性电动机可实现晶片的一致和可重复运动，而PLC单元则可与应用程序中的其他系统交换操作数据。此外，这种自动晶片处理程序还包括多种安全功能，如旅行过度和旅行不足保护以及机械联锁机。BROOKS 5877还包括一个基于输送机工具的晶圆处理子系统。这个子系统由滚子和皮带组成，将晶片从装卸站转移到卸卸站。滚子水平移动晶片,而皮带垂直移动晶片。而且晶圆处理器子系统还包含了磁盘驱动器、传感臂和计数器等几个电动机驱动的设备。磁盘驱动器提升和降低晶片,传感臂读取和记录晶片数据,计数器记录已处理的晶片数量。此外，综合视觉资产能够在装卸过程中精确跟踪晶片。它还通过支持晶圆尺寸和间距的自动设置来减少设置时间。此外,PRI AUTOMATION 5877还带有一个单独的晶圆热处理室,可通过PLC进行连接和控制。这个腔室可以被编程为以退火、扩散、蚀刻、封装和晶片去键等多种方式处理晶片。综上所述，5877是专门为晶圆处理应用而设计的自动化晶圆处理程序。它具有集成视觉模型、晶圆处理子系统和晶圆热处理室，能够精确跟踪和处理晶圆。它还能够同时处理多达21个晶片，并配备了广泛的安全特性。总体而言，这种自动晶片处理程序为晶片处理应用提供了可靠、高效的解决方桉。