二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 7000 Series #80123 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 7000系列是一款高性能晶片处理程序，旨在提供工业环境中晶片的可靠生产。该设备由两个主要部件组成：一个自动晶圆传输系统和一个晶圆夹紧/解压模块。这种组件组合允许快速、精确的晶圆移动和沿着生产线的精确定位。Automation 7000的传输单元设计用于精确可靠地处理直径不超过8英寸的晶片。该机配备了三轴线性X-Y-Z门架和一个旋转表，用于每个晶片沿其路径的精确对准。这种运输工具以最大吞吐量提供高精度，以满足生产线的需求。晶片夹紧/松开模块能够快速、准确地处理晶片。该模块利用四个真空致动夹具沿其运动路径固定晶片。每个夹具能够提供超过450磅的夹紧力，确保晶片在运动过程中牢固地固定。模块的自动运动控制提供了准确性和可重复性，以确保晶圆保持正确对准。自动化7000还配备了一套安全功能，以保证操作员、设备和晶片的安全。在运输模型的设计中包括了一个避免碰撞的资产，而晶圆夹紧/解锁模块则配备了紧急停止设备和外壳互锁。总体而言，BROOKS 7000是一种精确高效的晶圆处理程序，旨在提供可靠的晶圆生产。综合运输和夹紧/松开系统结合了快速、精确的晶片运动，而运输单元和夹紧模块的安全特性确保了每个晶片装卸操作的安全性和准确性。