二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 9700-7232-01 #9175424 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 9700-7232-01是一款晶圆处理程序，设计用于半导体制造应用。该设备能够从盒式磁带中处理6到8英寸的晶片，将其转移和定向到真空卡盘上，并将其送入和送出工艺室。自动化系统由一系列皮带、驱动轴和线性运动执行器组成，它们协调工作，在整个运动范围内提供平稳和精确的运动。单位的核心是转移臂。它是一个多轴装置，由两个独立驱动的臂组成，对晶片在其工作范围内的精确控制。传递臂的基座安装在垂直支撑柱上，允许围绕所有三个轴自由运动。手臂的底座也装有真空端口。这种真空有助于牢固地抓住晶片在其工作范围内，同时仍然允许最小的移动。手臂的底座还配有一个定向传感器（或"眼睛"），用于检测晶圆在移动时的方向。它可以检测顺时针和逆时针方向以及上下方向。机器的另一个组成部分是真空卡盘。它是一个平坦的圆形平台，安装在传递臂的末端。它设计用于在进出加工室的运输过程中牢固地将晶片固定到位。卡盘装有一系列销钉，设计用于吸尘时缩回。这样可以确保晶片牢固地固定在适当的位置,同时允许最小限度的移动。该工具还配备了一系列将晶片从盒式磁带转移到加工室的皮带。皮带全部由伺服马达驱动，允许对皮带的速度和方向进行流畅和精确的控制。资产还配备了一系列限位开关和传感器，确保晶圆始终以正确的方式传输，不会中断过程。BROOKS 9700-7232-01是一款功能强大的型号，为半导体制造过程提供精确精确的晶圆处理能力。它坚固的设计和广泛的功能确保它可以处理6到8英寸不等的各种晶片。其先进的运动和定向能力、可靠的皮带和卡盘系统以及众多的传感器相结合，使其成为各种应用中自动晶圆处理的理想选择。