二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-CE-S293 #152178 待售
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BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-CE-S293是一种高度先进的晶圆处理程序,可提供高效、可靠和自动化的水平晶圆传输。这款晶片处理程序提供直径最大为8英寸的晶片,用于广泛的行业管理晶片的装卸。它采用坚固、易于维护的机械底盘、精密的Z轴提升、原位校准、所有轴上的伺服驱动、输送机设备以及可调节的真空拨片。BROOKS ABM 405-1-CE-S293晶圆处理程序配备了一个具有直观图形用户界面(GUI)的多站点控制器。这个自成一体的单元可以被编程用于各种应用,包括晶圆植入物,拾取和放置,晶圆研磨,等等。它非常适合半导体环境中的任务,如载荷移植、线路对准和腔室载荷。除了直观的控制外,PRI AUTOMATION ABM-405-1-CE-S293还具有集成视觉系统和120 x 30像素高分辨率摄像头,用于捕获和分析数据。该晶片处理程序采用离线和在线校准两种方法,确保操作准确可靠。此外,它还设计了各种安全系统和错误消息,有助于防止错误操作。BROOKS ABM-405-1-CE-S293的可编程设置包括:晶圆直径、晶圆厚度、晶圆倾斜、晶圆旋转速度、预处理和后处理步骤速度、输送机速度等。它还具有处理多种晶片类型的灵活性,包括未分割和矩形芯片。在X轴和Y轴上,可在+/-6mm行程内调节"拾取"和"投掷"第三臂。ABM-405-1-CE-S293是一个功能强大、高度可靠且易于编程的晶圆处理单元。它以先进的特性和技术使晶圆运输更加平稳高效。它还包括一个高效、经济高效的维护计划以及易于更换的工具。这种坚固可靠的机器是控制、处理、装卸晶片的理想选择。
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