二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-CE-S293 #189532 待售

BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-CE-S293
ID: 189532
Robot.
BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-CE-S293是用于微电子器件处理的晶圆处理器。该晶片处理程序设计用于自动生产线,用于处理脆性半导体晶片和其他易碎基板。BROOKS ABM 405-1-CE-S293由晶圆转运站和控制设备两个主要部件组成。晶圆转运站采用真空操作的晶圆提升销工具,设计用于晶圆居中和转移。该工具采用旋转运动和低真空压力,产生气流电流,均匀地分配晶圆上的真空压力进行转移而不造成损坏,提高了产量和吞吐量。控制系统是一个基于Windows的单元,其编程使操作员能够输入要处理的晶圆和基板的类型以及任何其他特定要求。控制机还包括图形、统计过程控制(SPC)和报警消息管理等多项用户友好功能。该工具还能够利用传感器的反馈对工艺参数进行自动校准,以实现精确的晶圆传输。这种自动晶圆处理机拥有成本低,适用于各种中小型微电子制造环境。PRI AUTOMATION ABM-405-1-CE-S293是一种可靠的晶圆处理资产,易于维护和操作,为希望生产高质量、经济高效的微电子设备的公司提供了高水平的可重复性和吞吐量。
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