二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ #152173 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ是一种晶圆处理程序,用于精确处理晶圆或其他薄基板。此晶圆处理程序非常适合那些需要以最低成本进行极其精确的自动运动控制的过程。BROOKS ABM 405-1-NOZ旨在满足1级洁净室要求,可用于批量和集成生产过程应用。PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ由一个基本框架、一个机器人执行器和许多选项组成。底架由结构铝和钢组件组成,可根据您的要求涂漆,确保晶圆处理程序符合所需的规格。ABM 405-1-NOZ的底架为前后通道而设计，具有可调的倾斜功能。另外，基础框架设计为吸收任何种类的环境振动。BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ机器人执行器由高速快速伸缩电动机组成，具有机械制动提升能力，以确保精确和可重复的定位。这款机器人执行器具有多轴单平面运动控制以及完整的3D使用和高达50000 rpm的多速度范围。此外，机器人执行器有一个工具提示识别系统，具有一对一的选择反馈，允许自动晶圆处理。除了底架和机器人执行器外，BROOKS ABM 405-1-NOZ还具有多种选项可供选择。这些选项包括允许进行各种操作的工具,例如气动转子、真空端效应器、抓地力检查传感器、晶圆转储站或晶圆传输单元。此外,PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ还包括一个直观的用户界面和一个基于Windows®的图形用户界面,以及多个配方管理系统。ABM 405-1-NOZ晶片处理程序是各行业精密晶片处理操作的理想解决方桉。它在经济高效的封装中提供卓越的运动控制,确保高精度和可重复性。BROOKS/PRI AUTOMATION ABM的各种选项和功能405-1-NOZ使其成为更快速、更可靠的生产和装配操作的可行选择。