二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ #152175 待售
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BROOKS/PRIA AUTOMATION ABM 405-1-NOZ晶片处理程序设计用于晶片探针、等离子体蚀刻工具和其他涉及晶片处理的设备。它拥有16.536英寸x 16.536英寸的工作包络,非常适合高精度基板管理和大批量生产应用。BROOKS ABM 405-1-NOZ采用独特的双臂双夹具设计,包括先进的端效应器和真空吸盘设备。该系统非常适合安全和精确的晶片处理,确保最大限度的抓地力和最小振动或操纵晶片表面。晶圆处理机构设计用于容纳直径从3"到12",厚度最大为1.75"的晶圆。PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ还具有集成的多传感器视觉单元,可增强晶圆对准、定位和居中精度。该机器可以识别晶片的边缘,并提供有效的晶片处理和螺旋桨操作所需的位置信息。视觉工具使操作员能够执行全自动晶片处理,增加吞吐量时间并最大限度地减少手动干预。晶圆处理程序还通过其板载PLC控制器提供灵活的控制功能。该控制器可实现准确、可重复的晶圆处理过程,并提供机器性能数据的实时反馈。可以收集晶圆中心精度和其他关键值的数据。ABM 405-1-NOZ配备了创新的微芯片传输臂解决方桉,非常适合处理微型芯片或芯片。这种传动臂,其独立控制的吸盘和手指,可以正确对准晶片并呈现给接收螺杆,在过程中提供可靠的重复性和准确性。BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ具有最新的安全功能,包括互锁的机箱和工艺区域隔离、全职接地路径监控以及用于保护操作员的超压/脉冲监控。此晶圆处理程序的安全合规性旨在超越客户需求和行业标准。总体而言,BROOKS ABM 405-1-NOZ晶片处理程序是晶片测试和处理设备的绝佳补充。它的机器人自动化功能允许高效、可重复和准确的性能-所有这些都为操作员提供了最大的安全性。对于可靠、安全、准确的晶圆处理至关重要的应用来说,这是一个理想的选择。
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