二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293 #188172 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293是用于半导体制造过程自动化的先进晶圆处理解决方桉。它专为洁净室应用而设计，通过其集成的控制和内置的安全系统具有高度的操作灵活性。BROOKS ABM-405-1-S-CE-S293配备了机器集成和控制所需的所有数字输入、控制和输出。它采用不锈钢框架和耐用可靠的电动机驱动机械部件，以实现最大的可靠性和性能。PRI AUTOMATION ABM 405-1-S-CE-S293适用于300 mm和200 mm晶圆处理操作。它可以容纳各种类型和尺寸的晶片，无论是模具形式还是晶片形式，确保精确的自动化和可靠性。它的特点是具有高精度高度调整的大型工作区域,在盒式磁带的上方和下方,大小可达300毫米。该单元的机械部件设计有一系列的特点，以允许操作的灵活性。这包括滑轮设置、晶片开口、载荷和方向控制,以及手动调整以预备纸张和将晶片定位在组件的处理部分。BROOKS ABM 405-1-S-CE-S293可配置为运行两个或四个盒式磁带。它也有单独的卡带方向，可以编程为运行多种晶圆类型。晶圆方向可以调整以适应任何晶圆尺寸、形状或外形尺寸。该装置还具有用于精确晶片对准的手动速度拨盘和用于可调晶片加载精度的手动减震器。其高精度传感器可实现快速、精确的晶片捕获和传输,并具有控制晶片运动的集成真空系统。该单元还包括手动和自动安全区，以保护操作员在与该单元一起工作时的安全。PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293易于设置和操作,其模块化设计提供了简单的即插即用界面。集成控制和模块化功能的结合确保了无错误的调试程序和与现有设备的无缝集成。该系统与几个行业标准操作系统完全兼容，并配备了符合最严格全球安全法规的高级安全功能，包括SEMI S2和ISO 13849.1。