二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293 #9262263 待售
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BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293是一种晶圆处理程序,专为半导体制造和生产系统中的自动化材料处理而设计。其主要目的是为后续处理步骤以可靠的方式移动和加载晶片。该处理器配备了直观的操作员界面,使操作和编程变得简单高效。BROOKS ABM-405-1-S-CE-S293晶圆处理程序由重型不锈钢底盘构成,设计为水平和垂直存储。它能够处理直径达200毫米的晶片,厚度范围可达12.7毫米。该单元包含两个独立的处理区域,位于处理程序的相对两侧,最多可同时容纳三个晶圆。通过嵌入式可编程逻辑控制器(PLC)实现对处理器的控制,该控制器可实现用户定义的运动配置文件和自定义操作参数。PRI AUTOMATION ABM 405-1-S-CE-S293配备了一个拾取设备,利用精密的真空升降杯和精确校准的传输臂将晶片从源头精确移动到目的地。此外,该处理程序能够识别晶片方向和厚度,并能准确区分不同类型的晶片,以确保最佳的载荷和卸载。拾取放置系统可以以每小时高达1400个循环的速度移动晶片,晶片边缘的位置精度在+/-5微米以内。最后,处理程序还内置了一个自我诊断单元,可以快速识别和纠正任何潜在问题。总体而言,BROOKS ABM 405-1-S-CE-S293是一种先进的自动化材料处理机器,旨在促进晶片在生产环境中的移动。这款晶圆处理器具有可靠的拾取工具、内置的自我诊断和直观的用户界面,是任何半导体制造工厂的宝贵资产。
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