二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-407 #132339 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION ABM-407 Wafer Handler是一种高度自动化和集成的机器人设备,旨在可靠地、准确地传输、对齐和处理被称为基板的精确数量的半导体晶片。BROOKS ABM-407的精确设计和构造使其成为需要高效处理易碎昂贵基板的应用的理想选择。PRI AUTOMATION ABM-407利用称为BRIO PASS Vacuum Clamps的加工室来连接用石英和硅等多种材料建造的基板。连接到真空夹具的端部效应器能够一次固定四到十二个基板，这取决于所使用的特定夹具配置。定位系统采用双轴万向节模块，可精确旋转和定位基板。这样就可以精确地放置和重新定位基板,以便进行高精度的探测。ABM-407旨在提供与现有工厂自动化系统的无缝集成。它设计用于与ATM和其他机器控制器的行业标准模型接口。此外,BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407具有内置的安全功能,例如警告单元,提醒操作员注意潜在的冲突。例如，如果晶圆处理程序接近物体或人的距离太近，警告机器就会照亮。BROOKS ABM-407易于使用，操作方便，便于底物装卸，具有很高的重复性和可靠性。该工具具有用于定位和基板识别的集成视觉资产、用于更好探测精度的debounce和z-tilt功能,以及用于探测和对准的高精度运动。此外,PRI AUTOMATION ABM-407还具有精确的温度控制和湿度测量软件,以便在实验运行期间能够准确监控环境和基板。总体而言,ABM-407 Wafer Handler是一种可靠且自动化的晶圆处理模型,能够以高度的精度和可靠性对齐、处理和传输基板。它的设计具有多种特点和功能，以确保基板能够安全高效地处理。