二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293 #293657679 待售
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BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293是一种先进的晶圆处理程序,设计用于半导体晶圆的自动处理。其高精度、高速的能力为用户提供高效、快速的晶圆传输解决方桉。BROOKS ABM-407B-1-S-CE-S293由三个核心组成;控制系统、驱动连杆和柔性装配夹具。控制系统是基于Windows的操作系统,允许用户访问一系列工具和工程软件。它提供了多种用于控制运动和通信的自动化网络,包括CAN、以太网和USB。从主控制系统驱动的连杆机构为晶圆机械手框架提供动力。它由马达、执行器和联轴器组成,并允许晶圆的精确定位。最后,柔性装配夹具是一种设计独特的机动化柔性装配,能够承受温度波动和高振动。它还配备了内置空气轴承,在处理晶片时确保最小摩擦。除了核心组件外,PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293还具有若干高级功能。它能够处理小至7英寸或大至200毫米的晶片,一次最多可处理6个晶片。晶圆处理器还支持从帧级到三维的一系列晶圆配置,能够进行放置、移除、旋转和检查等自动化操作。该单元配备了几个可选功能,如舞台安全快门、环境套筒和真空棒,方便晶片的转移和对准。总体而言,ABM-407B-1-S-CE-S293晶圆处理器是一种先进的设备,能够高效、精确地自动处理半导体晶圆。晶片处理程序以其精确设计的组件、快速的操作和先进的功能,为用户提供了满足其晶片处理需求的理想自动化解决方桉。
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