二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293 #9171112 待售

ID: 9171112
Robot KLA / TENCOR / ASD P/N:0014446-000 P/N: 0190-22246W 2003 vintage.
BROOKS/PRIA AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293是一种先进的晶圆处理程序,用于半导体制造行业,以安全和受控的方式方便晶圆基板的运动。该装置旨在最大限度地减少晶片基板的污染和损坏,帮助将生产成本降至最低。BROOKS ABM-407B-1-S-CE-S293有一个小的框架尺寸,它可以处理各种尺寸的离散和连续晶片。晶片厚度变化的最大公差为25 µm ±,确保晶片沿着传输路径安全平稳地运行。它还以高精度、高速、稳定的方式构建,使其能够以安全可靠的方式准确、快速地将晶片从一个点移动到另一个点。PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293设计用于真空和机械晶片加载。其集成的旋转升力和伺服升力确保晶片的精确定位和对准,从而使任何细腻的晶片签名保持完整。其精密的运动控制系统具有先进的算法,以纠正任何错位,并防止晶圆处理过程中的任何震动或碰撞。ABM-407B-1-S-CE-S293还包括隔振、气候控制和减振系统,以确保机器人手臂的运动没有任何不必要的噪音或振动。这降低了晶片损坏的风险,并最大限度地减少了污染。它还具有干式清洁底座和端口,以清除系统中的空气和气体,进一步确保晶片免受污染。BROOKS/PRIA AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293具有全方位的接口,包括一系列接口,以实现真空泵、夹具、线性执行器和电机驱动程序的连接。这使得它与一系列晶圆制造系统兼容,从入门级系统到复杂的自动化应用程序。它还兼容全机视觉系统,允许先进的运动控制和跟踪能力。总之,BROOKS ABM-407B-1-S-CE-S293是一种先进的紧凑晶片处理程序,旨在保护敏感晶片基板免受污染和其他损坏,同时提供高度准确可靠的运动控制。其振动和气候控制系统、干式清洁底座和综合接口确保它能够处理各种各样的晶圆类型和制造系统。
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