二手 BROOKS / PRI AUTOMATION Aerotrack #9099516 待售
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BROOKS/PRI AUTOMATION Aerotrack是一款先进的晶圆处理器,旨在满足最苛刻的半导体制造应用的需求。该设备是自动晶片装载机/卸载机,能够在不同的加工工具和相关设备之间快速可靠地传输多个晶片。它为许多芯片生产线提供了经济高效、节省空间的解决方桉。BROOKS Aerotrack的设计旨在实现多次晶片传输,并以最小的空间使用,允许晶片的快速和方便的装卸。该系统采用铰接式机器人臂,在装卸操作中提供晶片精确、可重复的运动。它可以移动直径达200毫米的晶片,以及最大重量10公斤。机器人的设计提供了最大的灵活性,以适应各种晶圆,以及不同的过程。它可以快速适应不同的工作站,从自动晶圆检查到模具粘结。PRI AUTOMATION Aerotrack的高精度运动控制和集成的安全功能确保在广泛的生产环境中安全可靠的运行。它还具有防撞保护功能,以提高安全性。它的高级控制单元能够自动处理操作以及单个晶片的一般和特定信息,跟踪部件号和序列号。机器人采用交流伺服电机供电,使其能够在低振动的情况下进行高速、精确的立方运动。Aerotrack可以与不同类型的外部设备连接,包括控制器、打印机、摄像头以及其他相关的工艺设备。其他功能包括功能齐全的触摸屏界面,为机器操作提供直观的平台。该机还配备了符合SMEMA标准的端口,用于与其他自动化系统通信。总体而言,BROOKS/PRI AUTOMATION Aerotrack是一款先进可靠的晶圆处理程序,旨在为晶圆处理提供最大的效率和准确性。其精密的特性和安全机制使其成为任何希望实现操作自动化的半导体制造生产线的理想工具。直观的触摸屏界面以及与其他设备的轻松集成使其成为各种应用的完美解决方桉。
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