二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS #185016 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS是一种自动化晶圆处理程序,旨在实现高精度晶圆传输和对齐。它能够处理直径达200毫米的晶片，并使用2轴机械臂在不同的盒式系统之间移动晶片。手臂可以编程为在手动控制下在最多三个轴上移动晶圆，从而使晶圆精确对准。BROOKS ATM 105-1-2-S-RHS配备了晶片识别光学传感器，使其能够在正确的盒式设备中准确定位、定位和对准每个晶片。视觉系统也可用于在传输过程中定向和对齐晶片。另外，机械臂可以编程为根据需要夹紧和解开晶片。PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS设计为可靠、可重复、安全的晶圆处理解决方桉。它需要最少的操作员干预，只需要基本的用户输入程序的机械臂。该单元还利用操作前后的自检过程，使其能够自动运行诊断测试并识别和报告可能遇到的任何错误。ATM 105-1-2-S-RHS采用硬质铝制框架，包括除尘器，以确保清洁操作条件。它还配备了一套确保操作员长期安全的安全部件，包括酸传感器和灭火机。该工具还可以根据需要配备额外的安全选项。最后,BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS可用于广泛的晶圆处理应用。这使得它适合用于各种半导体制造、研究和实验室设施。BROOKS ATM 105-1-2-S-RHS具有高精度、可编程性和可靠性,是自动晶圆传输和对准的理想解决方桉。