二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS #9116101 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS是一种先进的晶圆处理程序，设计用于处理单个晶圆基板。它能够每小时运行1200个晶圆，可容纳6至8英寸晶圆。此晶片处理程序配置为与BROOKS ATM晶片检查和计量设备（如ATM 210-600-100-S直接集成。它还能够连接到ZED自动化机器人臂，用于晶圆处理程序和计量系统轨道之间的晶圆传输。BROOKS ATM 105-1-2-S-RHS采用不锈钢框架,UL等级,并采用符合JEDEC洁净间标准的卫生设计。由于包含了双面模式,根据操作员的晶片卸载要求,处理程序可以从设备的两侧运行,因此设备中最多可安全运送150个晶片盒式磁带。该装置还设有安全门，有助于保护机器集成人员在与该装置一起工作时免受任何潜在伤害。PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS由具有三相110或208V功率的交流驱动器工具提供动力,可以以0-200半/分钟的速度自动运行。它还具有脉宽调制（PWM）运动控制、分辨率为1024脉冲/旋转的光学编码器（有助保持高度精确的运动控制）和TeachPendant通信资产。PWM和优化技术允许设备将所有运动保持在0.001英寸内。所有内部驱动器、传感器、限位开关和电气系统均由PLC和HMI控制,以确保正常运行。ATM 105-1-2-S-RHS还具有真空卡盘模型，用于将晶片精确定位和加载到设备上。该单元包括一个激光传感器和视觉设备，帮助指导晶片定向，并在晶片丢失时更新操作员。此外，该装置还配备了中断检测系统，以确保晶圆的运动是一致的，并且被中断的晶圆被精确地重新定向并返回到路径上。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS是一种高效可靠的晶圆处理程序,专为满足先进的技术处理需求而设计。其先进的特点和功能可以提高操作效率和安全性，同时其卫生设计确保安全的工作环境。这个晶圆处理程序是那些寻找一个可靠的单位，能够跟上快速的生产率，帮助他们保持领先曲线的完美选择。