二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE #9194553 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE是一种多轴晶圆处理程序,旨在最大限度地提高晶圆处理设备的效率。BROOKS ATM-105-1-S-CE是一种高性能晶片处理程序，能够精确精确地扫描、切片和装卸晶片。这个晶片处理程序提供了可重复的步进和重复运动和最高的可达到的吞吐量，即使与小，复杂的晶片。PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE由4块板组成,包括控制板、I/O板和编码器板。控制板包含一个基于IBM PC的系统,其中包含Microsoft Windows 95/98/00/NT操作系统和随附软件安装的步进电机控制器卡。驱动步进电机的I/O板位于电子组件的边缘。编码器板从步进电机接收脉冲，电子元件在系统温度监测中起作用。步进电机和编码器板直接连接到中央处理器（CPU）和内存。ATM-105-1-S-CE具有多种扫描和切片功能,以及优化的OEM晶圆处理软件包。晶片处理程序具有获得专利的"平滑"扫描模式，可提供可重复和极其精确的晶片切片性能。它还支持多个晶圆大小的处理和切片操作，这使得它非常适合各种基于晶圆的应用。最大操纵晶片尺寸为8英寸直径，但安装了合适的适配器也可以处理更大的晶片。BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-105-1-S-CE包括标准数量的功能,例如电子速度,这些功能有助于实现更快的过程,从而提高吞吐量。它方便的滑动板，加上真空吸盘和低力夹具，使得晶片可以在不接触晶片活动表面的情况下进行装卸。再循环球形螺钉还可以使晶片运动平滑而平缓，这对于清洁至关重要。最后,晶圆处理程序具有直观的用户界面和实时图形显示.该用户界面包括一个可编程逻辑控制器（PLC）以允许工厂地面操作，并提供了一些通信端口，用于连接外部设备或链接到UPW全工厂监控系统等系统。通过最先进的电机控制器设计，BROOKS ATM-105-1-S-CE提供了难以控制的晶圆处理吞吐量和精度。