二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE #9197649 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-105-1-S-CE晶圆处理程序是一种高性能晶圆处理设备,旨在通过最先进的超快运动能力提供卓越的产量和可靠性。该机设计精密、可重复晶片定位，为半导体和晶片级集成电路生产提供最佳工艺稳定性和收率。BROOKS ATM-105-1-S-CE能够处理多达12英寸（300毫米）的晶圆，非常适合大批量生产。它配备了异常快速的运动系统，包括高速、高精度的直线电动机、紧凑的双轴伺服电动机和专有的超快步进电动机，提供快速、可重复和可靠的纳米级定位和可重复性。此外，该机具有高度刚性，大轮廓龙门设计，使其适用于高精度的纳米处理。PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE还包含许多高级功能,旨在缩短周期时间并提高吞吐量。例如,它利用自适应配方学习（ARL）技术,该技术自动为每个晶片学习最佳的处理条件,并根据机器的实时测量结果生成最高效的配方。此外，这台机器还配备了实时工具操作监测（RTM），这是一个以工具为中心的监测单位，用于测量、记录和报告腔室及其部件的逐项操作。这样可以确保最佳操作,并为进一步分析和进一步优化过程提供数据。ATM-105-1-S-CE还包括多腔加载/卸载（MCLU），使晶片能够连续生产具有不同工艺配方的晶片。此外,它还具有复杂的用户界面,可提供可编程警报、自我诊断和警告机器。该工具还提供了一系列安全功能，如安全区、激光传感器和自动中止循环，以维持安全的生产环境。总体而言,BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE晶片处理程序是一种高度可靠、高效和精确的晶片处理机器,可提供最佳的加工产量。它是高容量晶圆级集成电路和半导体生产的理想选择，其先进的微定位技术使其适合纳米处理。其广泛的特性和功能使其成为极具吸引力和成本效益的资产。