二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105 #9064558 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-105是为半导体生产中的高级自动化解决方桉而设计的高性能晶圆处理器。该工具提供了一个完全集成的平台，用于在工艺工具和托盘之间以精确的精度和控制进行晶片传输。此工具基于紧凑的模块化设计,便于安装和维护。BROOKS ATM-105的主机架是由刚性铝钣金结构打造而成，为更高的吞吐量要求提供了极为坚固的结构。高精度真空型晶片处理设备包括双轨真空型穿梭机和用于可靠抓握操作的晶片卡盘。先进的自动显影特性可以补偿基于真空的传输导轨系统中的所有偏差,从而确保晶圆的精确处理,而无需手动调整。高速电机驱动的旋转执行器可确保平稳、精确的旋转,而精密的线性执行器则可实现晶圆的超快、平滑的索引。PRI AUTOMATION ATM 105还设计了一种先进的单手机械臂,允许在加工工具和托盘托架之间快速、无缝地传输晶片。这种机械臂和基于真空的晶片处理单元的组合还可以使晶片在托盘之间快速、一致地装卸。此外,先进的视觉导引机使PRI AUTOMATION ATM-105能够精确对齐晶片和托盘,从而确保准确性和可重复性。ATM 105还具有强大的控制工具,包括用户友好的图形用户界面（GUI）。此控制资产可实现对所有功能的远程直接控制,提供精确的控制和详细的过程监控。GUI还为用户提供晶圆处理程序环境的实时可视化,使操作员能够轻松查看当前数据和处理信息。简而言之，BROOKS ATM 105晶圆处理程序是一种功能强大且精确的工具，为半导体生产中的高级自动化提供高性能晶圆处理解决方桉。ATM-105具有高精度、精确度和用户友好的界面,是当今半导体制造自动化解决方桉的理想选择。