二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105 #99632 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105是一种晶圆处理程序,专为中端晶圆制造应用而设计,如CMP、CVD和Etch。BROOKS ATM-105是一种模块化设备，设计灵活，以适应各种基材和工艺。该系统具有高速平面串联传输系统，可精确控制晶片载波运动，精确测量位置和速度，稳定、可靠、恒定、可重复的精度。PRI AUTOMATION ATM 105还通过其标准的LNC-1000和通信包提供设备控制。这个包包括定义设备参数和处理配方的能力，可以用来快速设置任何过程步骤。BROOKS ATM 105采用了改进的晶圆处理机制，在处理过程中尽量减少晶圆切块。ATM 105易于维修气动、电气和机械部件,便于维护,可快速响应并减少停机时间。BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM 105在安装到单元中时自动校准每个卡带，并快速识别何时安装了不同的卡带，确保准确、可重复的晶圆跟踪和传输。通过连接晶圆取向的高精度检查相机可以实现更高的精度。PRI AUTOMATION ATM-105能够自动识别特征,从而可以对每个晶圆曲面的路由进行高级决策。该机器通过对晶圆特性进行实时对准和检查,提高了吞吐量并减少了非增值操作。ATM-105可以使用个人计算机控制的界面处理直径不超过8英寸的晶片,从而提供用户友好的操作。该工具还提供以太网接口,用于远程访问设备、操作员和流程管理系统。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105是一种可靠、高效和安全的资产,可用于任意数量的工艺和生产环境。其高水平的控制和精确度使其成为中端晶圆制造工艺的理想解决方桉