二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-107-1 #9256423 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-107-1 Wafer Handler是一种多用途工业自动化工具，专为精密晶圆处理过程而设计。它采用模块化设计,可根据特定任务和应用程序需求进行各种定制和配置。BROOKS ATM-107-1的基本软件包包括：基于人体工程学PC的操作员控制台,提供基于图形用户界面（GUI）的机器控制；自动晶圆传输和分割设备；Micron MultiAx隔离系统；保证晶圆对准和精确注册的先进自动化单元；以及功能强大的晶圆处理软件套件。该机器还配备了广泛的选项，包括自动视觉预对准系统、自动录音、高速对准陶瓷盒式磁带、阵列传输支持以及用于晶圆安全控制的高级产品跟踪。自动晶圆传输和分割工具包括纺纱机、推进器和分离式传送带,这些传送带可管理晶圆的操作、传输和定向,而无需人工干预。Micron MultiAx隔离资产保证每个晶片在到达工艺模块之前都经过精确注册和精确定向，以尽量减少潜在的错位误差。PRI AUTOMATION ATM-107-1还提供了增强的晶片处理功能,例如晶片到晶片处理和晶片分割选项,使用户能够将单个晶片切片分离并移动到各自的盒式磁带。此外,ATM-107-1的目标模型确保每个晶圆目标都被精确放置,尤其是在处理大型工具时。此外,BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-107-1还配备了复杂的跟踪和控制模块,如定制机器人定位、 以及流程监控、可视化和验证功能,可全面监控晶圆传输和处理进度, 并使用户能够配置实时警报,这将有助于保持较高的生产率,并确保所有过程按照计划进行。总体而言,BROOKS ATM-107-1 Wafer Handler是一种高度先进和可靠的自动化工具,可大大提高效率并减少各种晶圆处理过程所需的时间。其模块化和可定制的设计结合了直观的GUI、先进的过程控制功能和强大的产品跟踪功能,使其成为任何工业晶片处理设备的理想选择。