二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-107/407 #9206798 待售

BROOKS ATM-107/407是一种晶圆处理程序，设计用于运输、加工、测试、包装和清洁半导体晶圆，用于制造微电子材料。这种多用途的装置提供准确、可重复的操作，从晶圆处理到试样形成。该设备具有多种自动化功能，包括高精度的6轴机器人臂、多传感器卡盘和伺服进纸系统。机器人臂能够精确定位和控制晶片载波，而多传感器卡盘则可以方便地处理和定位各种晶片大小和类型。伺服馈线装置设计成能够快速准确地加载和卸载晶片。该机配备了高效真空工具、改进的PCB提升资产以及样品碰撞防护。这些特性使得晶片运输速度快，样品处理可靠，可重复性高。此外,该腔室设计具有较高的温度控制能力,使样品质量更加一致.该ATM-107/407还包括一个Hotloop功能,它有助于快速准确地称量样品组件。此外，该模型与底物和薄膜研究兼容。该ATM-107/407配有各种晶圆处理工具，如刷子、散热器和喷嘴。它们旨在确保晶片和多氯联苯的准确、可重复处理。它还具有一些旨在维护有组织和安全的工作环境的杂项功能。例如，设备配备了集成的安全互锁和指示灯系统。安全联锁装置的设计是为了防止机器的任何意外操作，而指示灯则向用户发出工具运行的信号。该ATM-107/407是一种高效可靠的晶圆处理解决方桉。它旨在提供最高的准确性和可重复性,同时最大限度地减少潜在的操作员错误,确保生产质量和速度以及最佳生产效率。此外,随附的软件套件进一步提高了资产的准确性。这种测试、过程和维护程序的集合增强了样本操作的控制和准确性,从而确保了样本输出的一致性。