二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-107 #132338 待售

BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-107
ID: 132338
晶圆大小: 8", 12"
Robot, 8" and 12".
BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-107是为精确操作而设计的先进晶圆处理设备。它具有最先进的晶圆弹匣、高性能机器人和基于光学的精密对准系统。凭借其先进的技术和直观的控制,BROOKS ATM-107能够以极高的精度和速度精确传输和对准各种尺寸和密度的晶片。以PRI AUTOMATION ATM 107为特色的晶片盒设计用于在单个盒式磁带中容纳和保护多达一百个晶片。它配备了高容量自动装载机和机械、光学或电容检测系统的选择,以精确识别和选择正确的晶圆。弹匣的进阶设计确保整个弹匣均匀加热,最大限度地减少热冲击,并维持全体一致的温度。ATM 107还具有先进的五轴铰接机器人,具有高速40瓦、无刷直流伺服电机。该机器人能够精确定位和定向晶片,精度和可靠性都很高。机器人还安装了一个先进的视觉单元,使用激光三角测量和跟踪算法,精确对准晶圆到他们的确切位置。最后,PRI AUTOMATION ATM-107配备了基于光学的精密对齐机,利用基于图像的模式匹配和受信标记的组合,准确识别正确的对齐点。这种先进的工具旨在使晶片快速准确地对准其精确的位置和方向,从而实现均匀可靠的晶片传输。总体而言,BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 107是一种先进的晶圆处理资产,旨在为用户提供可靠和高度精确的晶圆处理体验。凭借先进的晶片盒、高性能机器人和基于光学的精密对准模型,ATM-107可以确保任何工业应用的精度、可重复性和成本效益。
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